加工定制:否 | 品牌:全自动扩膜机 | 型号:ADE-100 ADE-200 ADE-300 |
用途:晶圆、LED等切割后的扩膜工序 | 别名:二流体清洗机,晶圆清洗机、全自动清洗机、减薄晶圆贴膜机、晶圆贴膜机、LED扩膜机、晶圆扩膜机 | 规格:MODTF2-6 MODTF2-8 MODTF2-12 |
ADE系列是专门用于晶圆、LED等切割后的扩膜工序,配备PLC和触摸屏控制系统,可均匀的扩张晶粒之间的间距。
产品特点:
? 扩膜的高度和速度可直接在触摸屏上设定;
? 适应MODTF2系列框架;
? 工作盘具有恒温加热功能,有助于膜的延伸性;
? 调整工作盘上升的高度,即可调整晶粒之间的间距;
? 选配圆周刀划膜功能;
? 装有气弹簧,翻盖省力功能;
? 7英寸触摸屏,显示参数、执行的步骤、故障报警;
? 采用伺服电机升降和进口气缸升降完成扩膜工序,***扩膜的一致性;
? 采用松下PLC做控制系统,可设定台盘上升的预热延时、扩膜延时等功能,更好的提升了扩膜质量;
? 翻盖自动锁紧装置。
技 术 规 格
型号 | ADE-100 | ADE-200 | ADE-300 | 单位 | 备注 | ||
规 格 参 数 | 适用产品尺寸 | 3~6 | 3~8 | 3~12 | Inch | 可定制特殊品 | |
适应环规格 | MODTF2-6 | MODTF2-8 | MODTF2-12 | 可定制特殊品 | |||
适应膜的种类 | PVC膜、蓝膜 | PVC膜、蓝膜 | PVC膜、蓝膜 | 可定制特殊品 | |||
台盘加热范围 | 室温~80° | 室温~80° | 室温~80° | ° | |||
扩张高度 | 10~70mm | 10~70mm | 10~100mm | mm | |||
动 力 | 电源 | 单相AC 220 | 单相AC 220 | 单相AC 220 | V | 可定制AC100V | |
压缩空气 | 0.5~0.8 | 0.5~0.8 | 0.5~0.8 | MPa | |||
设备重量 | 90 | 90 | 120 | Kg |